Overordnede kursusmål
Kurset har til formål at introducere alle grundlæggende komponenter
(fysiske koncepter, udstyr og software) fra design til fremstilling
og karakterisering af silikone optiske planare
bølgereflektorkomponenter gennem praktisk erfaring.
Læringsmål
En studerende, der fuldt ud har opfyldt kursets mål, vil kunne:
- Arbejde selvsikkert i renrummet
- Vælge den rette materialeplatform til forskellige applikationer
i integreret optik
- Designe processflow til enhedsfremstilling
- Tolke og optimere nøgleprocesser i fremstillingen af
bølgereflektorkomponenter
- Effektivt justere fibre med nanoskala bølgereflektorer
- Håndtere chips og fibre med færdigheder inden for skæring,
rengøring og kløvning mv.
- Opsætte enkle optiske målinger
- Udføre komponent simulering og maskelayout ved hjælp af
kommerciel software
- Beskrive arbejdsprincipperne for bølgereflektorkomponenter
- Anvende viden til aktuel forskning og anvendelse af
bølgereflektorkomponenter
Kursusindhold
• Lære reglerne for arbejde i renrummet
• Blive fortrolig med vigtige processer i renrummet, herunder
filmdeponering, lithografi og ætsning
• Bygge modeller af bølgereflektorer til at simulere effektiv
brydningsindeks, koblingstab osv. ved hjælp af kommerciel software
• Oprette maskelayout ved hjælp af kommerciel software
L-edit/Clewin
• Udføre elektronstrålelithografi, herunder resist spin, e-beam
eksponering og udvikling
• Betjene "advanced silicon etcher" (ASE) og redigere
opskrifter til silikoneetsning
• Undersøge nanoskala-funktioner ved hjælp af
scanningselektronmikroskop (SEM)
• Koble lys ind og ud af bølgereflektorer på 3-dimensionelle
stadier
• Opsætte enkle målekredsløb, herunder lyskilde,
polarisationskontrol og optisk spektralanalysator (OSA) til at måle
udbredelses- eller transmissionstab af lige bølgereflektorer ved
cutback-metoden
• Opsætte OSA korrekt med hensyn til opløsning, følsomhed,
gennemsnit, sampling og konfigurere OSA og TLS til at arbejde i
synkronisering
• Måle silikone mikro-ring resonatorer og analysere forskellen
mellem designet og de målte værdier.
Sidst opdateret
02. maj, 2024