34539 Design, fremstilling og karakterisering af optisk plane bølgeleder komponenter

2024/2025

Kursusinformation
Design, fabrication and characterization of optical planar waveguide components
Engelsk
5
Kandidat
Kurset udbydes som enkeltfag
Retningsspecifikt kursus (MSc), Engineering Light
Retningsspecifikt kursus (MSc), Engineering Physics
Teknologisk specialisering (MSc), Engineering Light
Teknologisk specialisering (MSc), Engineering Physics
Juni
Campus Lyngby
Studerende vil arbejde i grupper med emner relateret til bølgereflektorkomponenter: design ved hjælp af kommerciel software, fremstilling ved hjælp af de state-of-the-art renrumfaciliteter på Nanolab og karakterisering i laboratoriet.
3-uger
Aftales med underviser
Bedømmelse af øvelser og rapport(er)
Skriftlige hjælpemidler er tilladt
bestået/ikke bestået , intern bedømmelse
34041
Minimum 3 Maksimum: 9
Haiyan Ou , Lyngby Campus, Bygning 343, Tlf. (+45) 4525 6380 , haou@dtu.dk
34 Institut for Elektroteknologi og Fotonik
I studieplanlæggeren
Overordnede kursusmål
Kurset har til formål at introducere alle grundlæggende komponenter (fysiske koncepter, udstyr og software) fra design til fremstilling og karakterisering af silikone optiske planare bølgereflektorkomponenter gennem praktisk erfaring.
Læringsmål
En studerende, der fuldt ud har opfyldt kursets mål, vil kunne:
  • Arbejde selvsikkert i renrummet
  • Vælge den rette materialeplatform til forskellige applikationer i integreret optik
  • Designe processflow til enhedsfremstilling
  • Tolke og optimere nøgleprocesser i fremstillingen af bølgereflektorkomponenter
  • Effektivt justere fibre med nanoskala bølgereflektorer
  • Håndtere chips og fibre med færdigheder inden for skæring, rengøring og kløvning mv.
  • Opsætte enkle optiske målinger
  • Udføre komponent simulering og maskelayout ved hjælp af kommerciel software
  • Beskrive arbejdsprincipperne for bølgereflektorkomponenter
  • Anvende viden til aktuel forskning og anvendelse af bølgereflektorkomponenter
Kursusindhold
• Lære reglerne for arbejde i renrummet
• Blive fortrolig med vigtige processer i renrummet, herunder filmdeponering, lithografi og ætsning
• Bygge modeller af bølgereflektorer til at simulere effektiv brydningsindeks, koblingstab osv. ved hjælp af kommerciel software
• Oprette maskelayout ved hjælp af kommerciel software L-edit/Clewin
• Udføre elektronstrålelithografi, herunder resist spin, e-beam eksponering og udvikling
• Betjene "advanced silicon etcher" (ASE) og redigere opskrifter til silikoneetsning
• Undersøge nanoskala-funktioner ved hjælp af scanningselektronmikroskop (SEM)
• Koble lys ind og ud af bølgereflektorer på 3-dimensionelle stadier
• Opsætte enkle målekredsløb, herunder lyskilde, polarisationskontrol og optisk spektralanalysator (OSA) til at måle udbredelses- eller transmissionstab af lige bølgereflektorer ved cutback-metoden
• Opsætte OSA korrekt med hensyn til opløsning, følsomhed, gennemsnit, sampling og konfigurere OSA og TLS til at arbejde i synkronisering
• Måle silikone mikro-ring resonatorer og analysere forskellen mellem designet og de målte værdier.
Sidst opdateret
02. maj, 2024