Overordnede kursusmål
Det overordnede formål med kurset er at give dig teoretisk baggrund
og praktisk erfaring med de mest almindelige eksperimentelle
teknikker, der anvendes til siliciummikrofabrikation. Du vil blive
introduceret til mikrofabrikationsmetoder såsom fotolitografi,
ætsning, tyndfilmdeponering og karakteriseringsmetoder såsom
scanning elektronmikroskopi (SEM) og profilometri. I løbet af
kurset vil de studerende fremstille en fungerende tryksensor og
karakterisere den i DTU Nanolab-renrummet. Dette vil gøre dig i
stand til at designe en fremstillingsproces, tegne en lithografisk
maske og arbejde sikkert i DTU Nanolab-renrummet.
Læringsmål
En studerende, der fuldt ud har opfyldt kursets mål, vil kunne:
- Arbejde sikkert, rent, venligt, og uafhængigt i DTU
Nanolab-renrummet
- Forklare fysik og kemi relateret til udstyret til specialister
og generalister
- Forklare tekniske og fundamentale begrænsninger for en specifik
fremstillingsproces
- Beregne relevante procesparametre
- Analysere og anvende procesresultater
- Tegne fotomasker
- Designe og fremstille et enkelt mikromekanisk system
(MEMS)
- Præsentere og diskutere en proces følge og
fremstillingsresultater
- Ved kritisk vurdering udvælge processer og
karakteriseringsudstyr til ens egen procesfølge
Kursusindhold
Kurset består af en teoretisk del og en eksperimentel del. I den
eksperimentelle del vil de studerende fremstille og karakterisere
en fungerende tryksensor. Den eksperimentelle del vil dække
følgende emner:
• Kemisk pådampning ved lav tryk
• UV-litografi
• Kemisk vådætsning
• Reaktiv ionætsning
• Fysisk pådampning
• Lift Off
• Scanning elektronmikroskopi
• Elektrisk karakterisering ved brug af en probe-station
I den teoretiske del beskrives fysikken, kemi og teknologien i de
fremstillingsprocesser, der anvendes i moderne nanofremstilling.
Emner, der dækkes, inkluderer:
• Alle ovenstående og
• Plasma forstærket kemisk pådampning
• Substratmaterialer: Silicium og Silica
• Materialemodifikation: Ionimplantation og doping-diffusion,
annealing
• Bonding: Anodisk bonding, fusion bonding
• Procesintegration
• Processimulering
Til eksamen vil studerende præsentere det arbejde, de har udført i
renrummet, og de vil fremlægge de målte data fra deres
tryksensorer.
Litteraturhenvisninger
Kursus materialet er tilgængelig på DTU Learn ved kursusstart.
Sidst opdateret
31. juli, 2024