Formiddag: 10-12 forelæsning/gruppearbejde. 13-17 eksperimentelt arbejde (rentrum/testlaboratorier). Nogle gange ekstra laboratoriearbejde. Hjemmeopgaver.
At give dig en teoretisk og praktisk viden om processteknologi for III-V halvledere. Dette vil dels foregå ved en begrænset forelæsningsaktivitet, mens størstedelen af tiden vil blive anvendt til at fremstille og teste en optoelektronisk komponent (halvlederlaser eller forstærker). Udover en basal praktisk træning vil vi lægge vægt på den ingeniørmæssige forståelse af processer, maskiner og generel rentrumsteknologi.
Læringsmål:
En studerende, der fuldt ud har opfyldt kursets mål, vil kunne:
beskrive egenskaberne af vådætse til III-V materiale og være i stand til at udvælge én til en given anvendelse
forklare tørætsning af III-V strukturer og beskrive wafer egenskaberne efter ætsen
forklare skabelsen af ohmske kontakter til III-V materialer og beskrive metallurgien bag Ti-Pt-Au og Ni-Ge-Au kontakter
beskrive de kritiske emner og mulige løsninger til pakning af optiske komponenter
opliste metoderne til fotonisk integration og vurdere fordele og ulemper ved metoderne
forklare den grundlæggende dyrkningsmekanik bag og redegøre for de praktiske aspekter af epitaksi af bulk, kvantebrønde og -punkter
forklare de procestrin, der er nødvendige til at fremstille en laserkomponent
beskrive ydelsen og principperne bag det tilgængelige procesudstyr og være i stand til at betjene det
vurdere ydelsen af de fabrikerede lasere
designe eller ændre en procesfølge for III-V halvledere ved brug af standard processer
vise korrekt adfærd i et rentrum med farlige stoffer og kunne dokumentere en kompliceret procesfølge
Kursusindhold:
Aktive fotoniske komponenter. Fysik og kemi for III-V halvledere. Krystalstrukturens betydning for processering. Våd- og tør-ætsning. Fremstilling af nanostrukturer ved epitaxi: MBE og MOCVD. Integreret optoelektronik og fotonik. Pakning af optoelektroniske komponenter. Praktisk fabrikation med halvlederlaseren som eksempel. Renhed og sikkerhed. Monitorering af process. Proceslog. Forståelse af rentrum og processudstyrs opbygning og de komponenter der indgår. Grundlæggende test af halvlederlasere.
Litteratur:
Baca og Ashby: Fabrication of GaAs Devices, ISBN: 9780863413537 (available as e-book at DTIC) + kopier
Mulighed for GRØN DYST deltagelse:
Kontakt underviseren for information om hvorvidt dette kursus giver den studerende mulighed for at lave eller forberede et projekt som kan deltage i DTUs studenterkonference om bæredygtighed, klimateknologi og miljø (GRØN DYST). Se mere på http://www.groendyst.dtu.dk/kursustilmelding.aspx
