At give dig en teoretisk og praktisk viden om processteknologi for III-V halvledere. Dette vil dels foregå ved en begrænset forelæsningsaktivitet, mens størstedelen af tiden vil blive anvendt til at fremstille og teste en optoelektronisk komponent (halvlederlaser). Udover en basal praktisk træning vil vi lægge vægt på den ingeniørmæssige forståelse af processer, maskiner og generel rentrumsteknologi.
Kursusindhold:
Aktive fotoniske komponenter. Fysik og kemi for III-V halvledere. Krystalstrukturens betydning for processering. Våd- og tør-ætsning. Fremstilling af nanostrukturer ved epitaxi: MBE og MOCVD. Integreret optoelektronik og fotonik. Pakning af optoelektroniske komponenter. Praktisk fabrikation med halvlederlaseren som eksempel. Renhed og sikkerhed. Monitorering af process. Proceslog. Forståelse af rentrum og processudstyrs opbygning og de komponenter der indgår. Grundlæggende test af halvlederlasere.
