Et mikrosystem er et miniaturesystem opbygget af forskellige funktionelle dele: elektroniske, mekaniske, optiske og mikrofluide. Alle disse dele er fremstillet helt eller delvist ved hjælp af mikroteknologi og udgør tilsammen et udeleligt system. Et høreapparat og et dedikeret miniature kemisk analyseinstrument er eksempler på mikrosystemer. I biler finder du andre eksempler på mikrosystemer, f.eks. accelerometer chippen, der styrer udløsningen af air-bags.
Kurset sætter dig i stand til 1) at vurdere hvilke mikroteknologiske fremstillingsmetoder, der bedst egner sig for et givet mikrosystem, og hvordan de forskellige fremstillingsprocesser kan integreres. 2) at vurdere om et mikrosystem vil være den rette løsning i en given applikation. 3) at regne på den mekaniske opførsel af simple mikrosystemer. 4) at vurdere, vælge og regne på transducerprincipper til aktuation eller detektion i et mikrosystem. 5) at designe mikrosystemer til en række applikationer.
Kursusindhold:
Introduktion til mikrosystemer. Beskrivelse af design og fabrikation af mikrosystemer: Litografi, ætsning, tyndfilmdeponering, dotering, ionimplantering, elektrodeponering, bondning, indkapsling og krystaldyrkning. Integration af fremstillingsprocesser. Modellering af mikrosystemer (lumped element modeling). Transducerprincipper for sensorer og aktuatorer og disses skalerbarhed. Elasticitet - bøjning af bjælker og udbøjning af membraner. Eksempler på mikrosystemer for en række vigtige applikationer.
I den sidste del af kurset gennemføres et projektarbejde om et konkret mikrosystem.
Litteratur::
Stephen D. Senturia: "Microsystem Design", Kluwer Academic Publishers, Boston, 2001 (ISBN: 0-7923-7246-8)
