Komponenter og delsystemer fremstillet ved hjælp af nano- og mikrofabrikationsmetoder indgår i en lang række moderne produkter. Produkternes funktionalitet er kritisk afhængige af disse mikro og nano-komponenter.
Målet med kurset er at sætte dig i stand til at ·Specificere detaljerede procesfølger for fremstilling af mikro- og nanosystemer. ·Vælge den bedst egnede procesteknologi for en given opgave under hensyn til tekniske og økonomiske overvejelser ·Vælge egnede materialer til en given anvendelse. ·Benytte CAD/CAE værktøjer til støtte for design processen. ·Forstå tekniske og fundamentale grænser for de benyttede fremstillingsprocesser.
Kursusindhold:
I kurset gennemgås fysik, kemi og teknologi for fremstillingsprocesserne der benyttes: ·Mønsterdannelse: UV-mikrolithografi, e-beam nanolithiografi, AFM-nanolithografi og nano-imprint. ·Mønsteroverførsel: ætsning, lift-off, form-fyldning/støbning. ·Replikationsprocesser: Varm presning og sprøjtestøbning. ·Tynd-film processer: CVD, PVD, spin-on, katalyseret dyrkning, fotoassisteret dyrkning og elektrokemisk udfældning. ·Substrat-materialer: Silicium, Pyrex og Plast. ·Materialemodifikation: Ionimplantation og dotering – diffusion, varmebehandling. ·Bonding – sammenføjning: anodisk bonding, fusion bonding, laminering og limning. ·Proces integration. ·Indkapsling. ·Process simulering.
