Et mikrosystem er et miniature system opbygget af forskellige funktionelle dele: elektroniske, mekaniske, optiske og mikrofluide. Alle disse dele er fremstillet helt eller delvist ved hjælp af mikroteknologi og udgør tilsammen et udeleligt system. Et høreapparat eller et dedikeret miniatyre kemisk analyseinstrument er eksempler på mikrosystemer. I biler finder du andre eksempler på mikrosystemer, for eksempel er accelerometer chippen, der styrer udløsningen af air-bags et mikrosystem. Kurset sætter dig i stand til: 1) at vurdere hvilke mikroteknologiske fremstillingsmetoder, der bedst egner sig for et givet mikrosystem. 2) at vurdere om et mikrosystem vil være den rette løsning i en given applikation. 3) at designe / udvikle fremstillingsprocessen for et givent mikrosystem. 4) at designe mikrosystemer for en række applikationer.
Kursusindhold:
Introduktion til mikrosystemer. Beskrivelse af design og fabrikation af mikrosystemer: Lithografi, ætsning, tyndfilmdeponering, dotering, ionimplantation, elektrodeponering, bondning, indkapsling og krystaldyrkning. Beskrivelse af mikrosystemer konstruktionselementer, og brugbare transducer principper for sensorer og aktuatorer samt disses skalerbarhed. Eksempler på mikrosystemer for en række vigtige applikationer. CAD og CAE værktøjer for mikrosystemer. I den sidste del af kurset gennemføres et projektarbejde om et konkret mikrosystem.
Litteratur::
Stephen D. Senturia: "Microsystem Design", Kluwer Academic Publishers, Boston, 2001
