2002/2003

33471 Eksperimentel mikro- og nanoteknologi

Engelsk titel: 


Experimental Micro- and Nanotechnology

Sprog:


Point (ECTS )

  5

Kursustype:   

Kursus for civilingeniørstuderende-
Kurset udbydes under Tompladsordningen


Skemaplacering:

Januar eller
Juni

 

Undervisningsform:

Selvstændigt eksperimentelt arbejde i 3 uger, 8 timer pr. dag.

Kursets varighed:

13-uger

Evalueringsform:

Bedømmelsesform:

Pointspærring:

Faglige forudsætninger:

Deltagerbegrænsning:

Maksimum:  16
 

Overordnede kursusmål:

At give dig erfaring med de eksperimentelle teknikker og den teknologi, der anvendes indenfor mikro- og nanoteknologi


Kursusindhold:

Kurset består af et projektorienteret eksperimentelt forløb, hvor det aktuelle faglige indhold i projektet har nær tilknytning til forskningsprojekter på MIC. Projektet gennemføres i tæt samarbejde med PhD studerende på MIC. Eksempler på tidligere projekter:
Fremstilling af AFM prober med reaktiv ion ætset spids.
Evaluering af piezoresistive AFM prober.
Evaluering af piezoelektrisk mikromekanisk accelerometer.
Undersøgelse af STM induceret brint desorbtion fra silicium overflader.
Undersøgelse af silicium fusion bonding i UHV.
Korrosionsbestandighed af tantaloxid.


Kursusansvarlig:

Ole Hansen, 344, 032, (+45) 4525 5715, oh@mic.dtu.dk  

Institut:

33 Institut for Mikro- og Nanoteknologi

Kursushjemmeside:

http://www.mic.dtu.dk/courses/33471

Nøgleord:

mikroteknologi, nanoteknologi, AFM, STM, tyndfilm
Sidst opdateret: 17. marts, 2003